研究室
MR-DF2 高精度動的ガス分配計
主な特徴
- HJ57-2017、HJ76-2017、HJ604-2017、HJ38-2017のガス分配機器に関する関連規格に準拠し、複数の成分のガス混合と分配をサポートし、ppbレベル、ppmレベル、パーセントレベルなどの濃度標準ガスを分配できます。
- 顧客のニーズに応じて、デュアルチャネル、トリプルチャネル、マルチチャネル、その他の複合ガス分配システムなど、カスタマイズが可能です。
- 高精度ステンレス鋼製マスフローコントローラー、ステンレス鋼製クイックプラグ式OD6/4mmガスインターフェース、高精度ローター式流量計などの高品質部品を採用することで、高いシステムガス分配精度と信頼性の高い品質を実現しています。
- 大型液晶画面を採用することで、システムの動作がより安定し、操作も容易になります。
- 19インチ4Uシャーシを採用しており、キャビネットへの組み込みが容易です。
- 流量制御には閉ループファジー制御技術を採用しており、応答速度が速く、流量制御精度が高い。
- 空気供給圧力が機器の要件を満たしていることを確認するために、ゼロ空気圧とシリンダー空気圧をリアルタイムで監視できます。
- システム内のガス経路洗浄機能は、各ガス分配の精度と機器の長寿命を保証します。
- デュアル出力で、検出装置の入口圧力を自動的にバランス調整します。
- ガス分配計器には温度補償機能が備わっているため、お客様は異なる温度における機器の動作データに対する温度の影響を考慮する必要がありません。
- 予熱時間は不要で、機械の電源を入れた後すぐにガス供給を開始できます。
- 発明特許やソフトウェア著作権を含む、独立した知的財産権。
テクニカル指標
マスフローコントローラーの製品範囲 | ユーザーのニーズに応じて、さまざまな仕様を選択できます（0～5000ml/分、5000～10000ml/分など）。 |
流量精度 | ≤1.0% |
流量分布の不確実性 | ≤0.6% |
流量の再現性 | ≤0.2% |
希釈係数 | 流量が2000～3000ml/分の場合、希釈率は50以下であり、流量が5000～10000ml/分の場合、希釈率は100以下である。 |
断る | 100:1/200:1（ご要望に応じてカスタマイズ可能） |
最大比率 | 1000:1/4000:1（ニーズに合わせてカスタマイズ可能） |
入力圧力 | 100kPa～500kPa（ユーザーのニーズに合わせてカスタマイズ可能） |
使用環境 | 温度：0～50℃、湿度：0～90％RH |
機器の耐圧性 | |
作動圧力差範囲 | 0.05MPa～0.3MPa |
動作電源 | 110VAC～240VAC/50Hz |
寸法 | （483×195×452）mm（カスタマイズ可能） |
重さ | 15kg（外観に合わせて調整可能） |