เครื่องมือวัดการกระจายก๊าซแบบไดนามิกความแม่นยำสูง MR-DF2
คุณสมบัติหลัก
- เป็นไปตามมาตรฐานที่เกี่ยวข้องกับเครื่องมือจ่ายก๊าซใน HJ57-2017, HJ76-2017, HJ604-2017, HJ38-2017 รองรับการผสมและการจ่ายก๊าซหลายองค์ประกอบ และสามารถจ่ายก๊าซมาตรฐานที่มีความเข้มข้นระดับ ppb, ppm, เปอร์เซ็นต์ ฯลฯ ได้
- สามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการของลูกค้าสำหรับการกระจายก๊าซแบบสองช่องทาง สามช่องทาง หลายช่องทาง และแบบผสมผสานอื่นๆ
- ระบบนี้ใช้ส่วนประกอบคุณภาพสูง เช่น ตัวควบคุมการไหลของมวลสารสแตนเลสความแม่นยำสูง อินเทอร์เฟซก๊าซแบบเสียบเร็วสแตนเลส OD6/4 มม. และเครื่องวัดการไหลแบบโรเตอร์ความแม่นยำสูง เพื่อให้มั่นใจถึงความแม่นยำในการกระจายก๊าซของระบบและคุณภาพที่เชื่อถือได้
- หน้าจอ LCD ขนาดใหญ่ ช่วยให้ระบบทำงานได้อย่างเสถียรยิ่งขึ้น และใช้งานง่ายขึ้น
- ใช้เคสขนาด 19 นิ้ว 4U ซึ่งสามารถติดตั้งเข้ากับตู้แร็คได้อย่างง่ายดาย
- ระบบควบคุมการไหลใช้เทคโนโลยีการควบคุมแบบฟัซซีวงปิด ทำให้ตอบสนองรวดเร็วและควบคุมการไหลได้อย่างแม่นยำ
- สามารถตรวจสอบแรงดันอากาศเป็นศูนย์และแรงดันอากาศในถังได้แบบเรียลไทม์ เพื่อให้มั่นใจว่าแรงดันอากาศที่จ่ายตรงตามข้อกำหนดของอุปกรณ์
- ฟังก์ชันการทำความสะอาดทางเดินก๊าซในระบบจะช่วยให้มั่นใจได้ถึงความแม่นยำในการจ่ายก๊าซแต่ละครั้งและยืดอายุการใช้งานของอุปกรณ์
- เอาต์พุตคู่ ปรับสมดุลแรงดันขาเข้าของอุปกรณ์ตรวจจับโดยอัตโนมัติ
- เครื่องมือวัดการจ่ายก๊าซนี้มีระบบชดเชยอุณหภูมิ ดังนั้นลูกค้าจึงไม่จำเป็นต้องพิจารณาถึงผลกระทบของอุณหภูมิที่มีต่อข้อมูลการทำงานของอุปกรณ์ในอุณหภูมิที่แตกต่างกัน
- ไม่ต้องรอเวลาในการอุ่นเครื่อง สามารถเริ่มการจ่ายก๊าซได้ทันทีหลังจากเปิดเครื่อง
- สิทธิในทรัพย์สินทางปัญญาที่เป็นอิสระ รวมถึงสิทธิบัตรสิ่งประดิษฐ์และลิขสิทธิ์ซอฟต์แวร์
ตัวชี้วัดทางเทคนิค
ช่วงของตัวควบคุมการไหลของมวล | สามารถเลือกขนาดต่างๆ ได้ตามความต้องการของผู้ใช้ (0-5000 มล./นาที, 5000-10000 มล./นาที เป็นต้น) |
ความแม่นยำของการไหล | ≤1.0% |
ความไม่แน่นอนของการกระจายการไหล | ≤0.6% |
ความสามารถในการทำซ้ำของการไหล | ≤0.2% |
ปัจจัยการเจือจาง | เมื่ออัตราการไหลอยู่ที่ 2000-3000 มล./นาที ปัจจัยการเจือจางจะ ≤50; เมื่ออัตราการไหลอยู่ที่ 5000-10000 มล./นาที ปัจจัยการเจือจางจะ ≤100 |
เทิร์นดาวน์ | 100:1/200:1 (สามารถปรับแต่งได้ตามต้องการ) |
อัตราส่วนสูงสุด | 1000:1/4000:1 (สามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการ) |
แรงดันขาเข้า | 100Kpa~500Kpa (สามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการของผู้ใช้) |
สภาพแวดล้อมการใช้งาน | อุณหภูมิ: 0-50℃ ความชื้น: 0-90%RH |
ความต้านทานแรงดันของอุปกรณ์ | |
ช่วงความแตกต่างของแรงดันใช้งาน | 0.05Mpa~0.3Mpa |
แหล่งจ่ายไฟที่ใช้งานได้ | 110VAC~240VAC/50Hz |
มิติ | (483×195×452) มม. (ปรับแต่งได้) |
น้ำหนัก | 15 กก. (ปรับได้ตามลักษณะที่ปรากฏ) |



